提供铜材料用表面处理液、表面处理方法、及采用该方法在铜材料表面形成的表面处理被膜。铜材料用表面处理液，其特征在于，含有：铜的氧化蚀刻剂、包含选自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一种金属元素的化合物和作为HF供给源的含氟化合物；表面处理方法，其特征在于，将铜和铜合金原材料浸渍到上述处理液中；表面处理被膜，其特征在于，所述被膜是采用上述表面处理方法在铜及铜合金上形成的，含有选自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一种金属元素、Cu、O和F；层合构件，其特征在于，含有表面处理被膜的铜原材料和树脂层介由表面处理被膜相接合。